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纳米材料与微纳加工
学  校 北京科技大学
授课教师
副教授
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累计学习人数 20634
课程简介

       人类对材料的制造与加工技术是人类文明发展的重要标志。“纳米材料与微纳加工”是材料科学与工程学院实验班大三年级的专业选修课程。纳米材料是当今材料科学的研究热点领域,在能源、信息等领域均由重要应用前景。而微纳加工技术是针对纳米材料的有效加工手段,可以让纳米材料从“璞玉”变为“美玉”,实现其从材料到功能应用的关键技术。

       本课程讲授内容以芯片的加工制造技术为主线,紧贴全球热点问题,通过课程讲授,旨在让学生理解和掌握通过微纳加工手段把原材料控制合成出功能性纳米材料,制备出基本电子与光电器件,进而实现电子光电器件的大面积集成,获得高级程度芯片的全过程。本章节为图形化技术,是本课程的第四章。研究图形化工艺是在硅晶元表面建立图形的一系列加工技术,是半导体工艺过程中最重要的工序之一。《科技日报》将光刻机与光刻技术总结为我国科技发展的卡脖子问题,认为是制约中国芯片发展的关键技术壁垒。本章节通过讲解光刻技术的原理、光刻步骤、发展历程、光刻技术的未来发展方向,我国光刻技术的发展历程所处阶段,与国内外先进水平的差距。

教学设计
授课教师
副教授 | 
张铮,男,北京科技大学材料科学与工程学院,副教授。主要从事低维材料在电子与光电器件领域应用的基础研究,在“Nature Energy”“Nature Communicatuins”“Advanced Materials”“ACS Nano”等期刊共发表SCI论文76篇;申请专利17项,授权10项;获得2018年度国家自然科学奖二等奖(第五完成人),2014年教育部高等学校科学研究优秀成果奖(自然科学类)一等奖(第九完成人);担任中国体视学学会理事,中国体视学学会材料学分会副秘书长。主讲“纳米材料与微纳加工”“材料物理实验”“固体物理”等课程。2019年获北京高校第十一届青年教师教学基本功比赛三等奖,第十届“挑战杯”首都大学生课外学术科技作品竞赛二等奖、三等奖各一项。